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详细说明

SPV-60-真空等离子清洗机

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  • 商品说明

  一、简介   

1.概要

真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.产品特点

产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品;

水平电极设计,可满足软性产品处理需求;

低耗能、耗气产品;

便捷的收放板方式;

真空系统集成,占地面积小;

合理的等离子反应空间,使处理更均匀;

集成的控制系统设计,使操作更方便。

3.行业应用

手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化;

PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁;

半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理;

陶瓷:封装、点胶前处理;

表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻;

塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化;

ITO涂覆前表面清洗。

  二、技术规格   

1.设备规格

电源系统

射频电源中频电源
功率0~600W0~1000W
频率13.56MHz40KHz
真空系统双级旋片泵(油泵)40m3/h
真空管路全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管
材质铝合金(可定制不锈钢腔体)
厚度25mm
密封性军工级焊接密封
腔体内部尺寸375×375×430mm(宽×高×深)
电极板有效尺寸345×344mm(宽×深)
可用空间间距22.5mm
电极板布置方式水平布置,可活动抽取
工作托盘标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)
工作空间6层
气体系统流量范围0~300SCCM
工艺气体气路标配两路,可定制
控制系统系统控制PLC
交付方式7寸触控屏幕
其他参数外形尺寸900×1600×900mm(宽×高×深)
重量150KG
设备外观颜色 银灰色

2.厂务规格要求

交流电源规格电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A
厂务排气流量:2.0 m3/min
厂务工作气体要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm2

管径:6×4 mm

材质:PU管

纯度:99.99%以

厂务压缩空气要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm2

管径:8×5 mm

材质:PU管

露点:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

3.一般规格

危险标识高压危险标识
使用环境

温度:15~30℃

湿度:30~70

其他注意事项

不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘

气瓶需固定


公司地址:浙江省宁波市海曙区气象路827号

服务热线:86-0574-28820083

技术支持:13429356185/13819825337

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