一、简介
1.概要
真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.产品特点
产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品;
水平电极设计,可满足软性产品处理需求;
低耗能、耗气产品;
便捷的收放板方式;
真空系统集成,占地面积小;
合理的等离子反应空间,使处理更均匀;
集成的控制系统设计,使操作更方便。
3.行业应用
手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化;
PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁;
半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理;
陶瓷:封装、点胶前处理;
表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻;
塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化;
ITO涂覆前表面清洗。
二、技术规格
1.设备规格
电源系统
|
| 射频电源 | 中频电源 |
功率 | 0~1000W | 0~2000W |
频率 | 13.56MHz | 40KHz |
真空系统 | 泵组 | 罗茨泵+单级旋片泵 |
真空管路 | 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 |
材质 | 铝合金(可定制不锈钢腔体) |
厚度 | 25mm |
密封性 | 军工级焊接密封 |
腔体内部尺寸 | 600×600×600mm(宽×高×深) |
电极板有效尺寸 | 575×510mm(宽×深) |
可用空间间距 | 34mm |
电极板布置方式 | 水平布置,可活动抽取 |
工作托盘 | 标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网) |
工作空间 | 8层 |
气体系统 | 流量范围 | 0~300SCCM |
工艺气体气路 | 标配两路,可定制(氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳) |
控制系统 | 系统控制 | PLC |
交付方式 | 7寸触控屏幕 |
其它参数 | 外形尺寸 | 1050×1750×1050mm(宽×高×深) |
重量 | 350KG |
设备外观颜色 | 银灰色 |
2.厂务规格要求
交流电源规格 | 电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A |
厂务排气 | 流量:2.0 m3/min |
厂务工作气体要求 | 流量:1~10 L/min 压力:3~7 kg/cm2 管径:6×4 mm 材质:PU管 纯度:99.99%以上 |
厂务压缩空气要求 | 流量:1~10 L/min 压力:3~7 kg/cm2 管径:8×5 mm 材质:PU管 露点:-40℃以下 Particle>0.3μm:10Pcs/ft3 |
3.一般规格
危险标识 | 高压危险标识 |
使用环境 | 温度:15~30℃ 湿度:30~70 |
其他注意事项 | 不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘 气瓶需固定 |
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三、配置清单
序号
| 名称 | 描述说明 |
| 单位 | 数量 |
1 | 主机 | 外形尺寸:1050×1750×1050mm(宽×高×深) | 台
| 1 |
2 | 真空腔体 | 外形尺寸:1050×1750×1050mm(宽×高×深) | 个 | 1 |
3 | 激励电源 | 射频电源 | 中频电源 | 套 | 1 |
频率:13.56MHz; 功率:0~1000W; 配全自动真空电容匹配 | 频率:40KHz; 功率:0~2000W |
4 | PLC | 德国西门子,S7-200 | 个 | 1 |
5 | 触摸屏 | 威纶通,七寸屏幕,MT6071iE | 个 | 1 |
6 | 流量计 | 英国wawick品牌,氩气、氧气 | 个 | 2 |
7 | 真空泵组 | 罗茨泵(BSJ70)-251 m3/h +单级旋片泵(莱宝SV100B-100m3/h) | 台 | 1 |
8 | 真空计 | 英福康 | 个 | 1
|
9 | 说明书 | 真空等离子清洗机SPV-200操作说明书 | 份 | 1 |