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详细说明

SPV-200-真空等离子清洗机

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  • 商品说明

  一、简介   

1.概要

真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.产品特点

产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品;

水平电极设计,可满足软性产品处理需求;

低耗能、耗气产品;

便捷的收放板方式;

真空系统集成,占地面积小;

合理的等离子反应空间,使处理更均匀;

集成的控制系统设计,使操作更方便。

3.行业应用

手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化;

PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁;

半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理;

陶瓷:封装、点胶前处理;

表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻;

塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化;

ITO涂覆前表面清洗。

  二、技术规格   

1.设备规格

电源系统

射频电源中频电源
功率0~1000W0~2000W
频率13.56MHz40KHz
真空系统泵组罗茨泵+单级旋片泵
真空管路全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管
材质铝合金(可定制不锈钢腔体)
厚度25mm
密封性军工级焊接密封
腔体内部尺寸600×600×600mm(宽×高×深)
电极板有效尺寸575×510mm(宽×深)
可用空间间距34mm
电极板布置方式水平布置,可活动抽取
工作托盘标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)
工作空间8层
气体系统流量范围0~300SCCM
工艺气体气路标配两路,可定制(氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳)
控制系统系统控制PLC
交付方式7寸触控屏幕
其它参数外形尺寸1050×1750×1050mm(宽×高×深)
重量350KG
设备外观颜色 银灰色

2.厂务规格要求

交流电源规格电源:AC380V,50/60Hz,5线,50A
厂务排气流量:2.0 m3/min
厂务工作气体要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm2

管径:6×4 mm

材质:PU管

纯度:99.99%以上

厂务压缩空气要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm2

管径:8×5 mm

材质:PU管

露点:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

3.一般规格

危险标识高压危险标识
使用环境

温度:15~30℃

湿度:30~70

其他注意事项

不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘

气瓶需固定


  三、配置清单   

序号
名称描述说明
单位数量
1主机外形尺寸:1050×1750×1050mm(宽×高×深)
1
2真空腔体外形尺寸:1050×1750×1050mm(宽×高×深)1
3激励电源射频电源中频电源1

频率:13.56MHz;

功率:0~1000W;

配全自动真空电容匹配

频率:40KHz;

功率:0~2000W

4PLC德国西门子,S7-2001
5触摸屏威纶通,七寸屏幕,MT6071iE1
6流量计英国wawick品牌,氩气、氧气2
7真空泵组罗茨泵(BSJ70)-251 m3/h +单级旋片泵(莱宝SV100B-100m3/h)1
8真空计英福康1
9说明书真空等离子清洗机SPV-200操作说明书1


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