SPV1000Z-真空等离子清洗机

  一、产品简述   

1.等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

A.对材料表面的刻蚀作用—物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

B.激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

C.形成新的官能团—化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

2.真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV清洗等，具有以下优点：

A.处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

B.处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

C.处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

D.可以处理各种形状的样品

对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。

真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

3.产品原理

等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

A.控制系统：

控制系统的功能在于控制整个设备的运行，包括人机界面（触摸屏）、PLC、电气电路。采用全自动控制系统的真空等离子清洗，可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制，满足不同客户的需求。

B.激励电源系统：

激励电源主要有三类：40KHz的中频激励电源，13.56MHz的射频激励电源，2.45GHz的微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

C.真空腔体：

真空腔体主要是分为三种材质的：1）铝合金腔体，2）不锈钢真空腔体，3）石英腔体。根据用户的不同需求，可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

D.工艺气体系统：

工艺气体包括流量计、气压阀等，用户可灵活选择多路的工艺气体方案，氩气、氧气、氢气、氮气、四氟化碳等，可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

E.真空泵：

真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵，油泵主要采用双级旋片泵，根据用户所采用的腔体体积、工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。

  二、技术规格   

1.技术参数

  三、性能优势   

1.原装进口电源：

采用原装进口高压激励电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。

2.全面安全防护：

温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。

3.独有放电技术：

特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。

4.密封性卓越的真空腔体设计：

军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺，配置进口真空泵。

5.优质产品部件：

产品全部部件采用国内外顶尖优质部件，确保设备性能优越

6.超低清洗温度：

满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。

7.精密数控加工：

进口精密CNC数控机床加工工艺，并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

8.适用形状复杂样品：

清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，全方位均匀清洗

  四、案例及定制